1. Стенд СЭТТ ИМ3-480-19
2. Агрегат непрерывного действия Оратория-5
3. Система диффузионная СДОМ-3
4. СДО-125/3
5. Система диффузионная СДОМ-3/100
6. Линия фотолитографии Лада-125
7. Установка ультразвуковой сварки ЭМ-4062
8. Установка ИК-термообработки ЭСТМ3-02
9. Зонд ЭМ 6020-01
10. Зонд ЭМ 6020
11. Микроскоп ММР
12. Микроскоп Е
13. Изотрон ТТМ2.030.033
14. Ламинары
15. PUMA-500 - установка магнетронного нанесения покрытия
16. Аппарат рентгеновский УРС- 0,1
17. Радиационно-технологическая установка для облучения полупроводниковых изделий альфы частицами РТУ ОПИ -Ам
18. Аппарат рентгеновский УРС- 2,0
19. Дифрактометр рентгеновский п/я М-5912
20. Устройство рентгеновское питающее ПУР 5/50
21. Ускорители частиц для научных исследований и промышленных применений HIGH VOLTAGE ENGINEERING EUROPA B.V. |
